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半导体微纳机电器件与系统(4)  
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研究方向：半导体微纳机电器件与系统，一共收录期刊：4份
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1000-6818ACTA PHYSICO-CHIMICA SINICA
ACTA PHYS-CHIM SIN		33118896
0960-1317JOURNAL OF MICROMECHANICS AND MICROENGINEERING
J MICROMECH MICROENG		21105677
1750-0443Micro & Nano Letters
MICRO NANO LETT		92186813
1674-7321Science China-Technological Sciences
SCI CHINA TECHNOL SC		154278486
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